7月9日，由中国中国集手机管家成电路创新今后联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方面 交流会”以六手机管家手机管家大会场加于网连线的多种途径同步拉开帷幕。美女球迷集成电路全产业链各环节的优秀型企业、高校和科研院所的千余位代手机管家表意义 参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海饶宗颐受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业其技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），拿了其技术创新奖。
“IC创新奖”由中国中国集成电路创新今后联盟主办，面向到国内集成电路产业链上下游企事业该单位征集，重点鼓励集成电路其技术创新、成果产业化、产业链上下游合作多，是集成电路产业最至关关键因素的其技术奖项它成，包括其技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大其技术创新和至关关键因素其技术开发其技术其技术层面拿了重大突破的该单位和团队成员。此前摘得新兴行业 重磅赛事的至关关键因素奖项，再持续持续不断彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的其技术真实实力和新兴行业 的髙度 认可。
检测是芯片制造厂商大大持续不断提升良率的至关关键因素多种方式。电子束检测设备还具超高精度，在高端芯片制造过程所发挥的能起越来越多越多大。到目前，该类设备被到国内厂商垄断，它成制约中国芯片制造自主可控的至关关键因素瓶颈。东方晶源数年磨剑，成功了研声音到国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供更多完整的纳米级缺陷检测和分析及问题解决解决方案。到到目前实施中国头部芯片制造厂商产线验证，验证结果呢表明其次指标与到国内一线对标机台已经达到同等整体水平，成功了问题解决解决中国在电子束检测相关领域的至关关键因素其技术问题解决。
东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并成功了年底推出多款设备，拿了重大突破。除此前获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸至关关键因素尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于今年年底6月提前进入产线验证，到目前可完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异可以各种需求 各种要求，性能再持续持续不断改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于今年年底年底3月提前进入产线验证，到目前还没有提前进入新客户产线小规模试产。包括，东方晶源还于近几天陆续发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），到目前该设备工程机（Alpha机）还没有实施首轮wafer demo，就能可以各种需求 28nm及已经达到面制程可以各种需求 ，Beta机集成部门工作加速推进中，已拿了新客户订单，提前进入产线验证指日可待。
它成另一家聚焦集成电路良率管理相关领域，以大大持续不断提升芯片制造门槛为使命的半导体型企业，东方晶源一直以来以研发创新为发展方面 核心，不持续不断地丰富其他产品矩阵并大大持续不断提升其他产品性能，填补多项到国内空白。今后，东方晶源将再持续持续不断立足一体化使用软件品台和检测装备两大相关领域，以新客户为四大中心，以今后市场为导向，不持续不断地实施其技术突破与其他产品创新，与中国集成电路产业上下游型企业勠力同心，推动中国集成电路制造产业再持续持续不断高速发展方面 。
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