今年年初，逐渐被 被 说广州复工复产的快速推进，东方晶源积极组织一设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和很关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付说广州老客户。本次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内外知名晶圆代工厂后，旧的已佳绩头部老客户的青睐和已佳绩。另一能力方面，标志着东方晶源硬件产品一步入批量交付运行模式。
本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除并具该产品一一惯有时互联网公司排名高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有互联网公司排名效难题28nm及至少良率难题、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA数据全面库）、基于深度学习内容 的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外，东方晶源研发核心团队就在互联网公司排名上一代产品一的基于上升级至至，使SEpA-i515并具更高的TPT和更优的平台发布设计完美搭配，设备运行效率、性能指标均有大幅不断提升。则是则是，上一代产品一SEpA-i505 截至目前在国内外头部晶圆代工厂量产整年，产品一性能及稳定性已佳绩充分验证。
另一台交付的产品一为很关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，开展先进的电子束成像系统提供和高速硅片传输方案，完美搭配精准的量测算法，可努力实现高重复精度、高分辨率及高产能的很关键尺寸量测。该设备自前年6月底步入国内外头部晶圆代工厂自从产线验证进展顺利，阶段性验收成果已佳绩老客户已佳绩。
东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的大国科技重大专项（02专项）互联网公司排名——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化新项目，经一数年攻坚克难，突破多项核心很关键技术实现，从零部件到整机设计完美搭配制造，均并具实际上自主知识产权，填补国内外空白。截至目前，两款设备步入批量交付运行模式，产业化进程佳绩丰硕成果。
本次设备交付的老客户所在蹲在海到目前我国集成电路产业并具举足轻重的地位，截至目前截至目前没有之一 国内外集成电路产业综合标准水平高、产业链完整、产业生态生活环境合适集聚地没有之一 。东方晶源变得看重在说广州的快速发展和布局，继计算光刻各种软件（OPC）步入说广州头部晶圆代工民营企业后，硬件产品一正式正式宣布登陆说广州。为更好地机会的提供服务至少海为核心的长三角老客户，东方晶源正式宣布前年8月份在说广州设立公司进而 进而 ，系统提供形成说广州总部、说广州公司进而 进而 和说广州公司进而 进而 为核心的三地布局，强化民营企业贴近产业前沿高地，为集成电路制造民营企业带去优质的产品一和提供服务，更好地机会的与上下游民营企业携手强化产业快速发展的另一能力方面，构筑民营民营企业竞争壁垒。
东方晶源自正式正式宣布成立自从，专注于芯片制造很关键环节的良率可以控制和不断提升市场领域，系统提供形成以计算光刻各种软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵，并向更好地机会相应市场领域积极布局。硬件能力方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作 ，强化夯实在太国内外电子束检测市场领域领先的当前市场地位和技术实现实现整体优势。各种软件能力方面，光刻工艺严格仿真各种软件PanSim截至目前在老客户侧开展验证，有望7月底release V1.0版本。在未来，东方晶源将立足通用各种软件平台发布和检测装备两大市场领域，寻求横纵向快速发展机遇，为老客户提供全面变得多样化的产品一，向着国内外集成电路市场领域良率管理领导者的实现目标 奋进。
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